Sollen für einen Abscheideprozess mehrere Elemente abgeschieden werden die als Flüssigkeit vorliegen, so können die Verdampfersysteme auch für 2 oder mehrere flüssige Precursor ausgelegt werden.
2 oder mehr Verdampfern die in einem System integriert sind werden dann auch von einer gemeinsamen Steuerung betrieben und überwacht. Auch hier besteht die Möglichkeit aus 1 Verdampfer mehrere Verbrauchsstellen zu versorgen. Zusammen bietet dies gegenüber anderen Konstruktionen die Möglichkeit zum Einsparen von Bauteilen, Steuerungselementen und Montageraum. In der Summe wird man damit die Kosten senken.
Galerie Verdampfer für einen Precursor (zum Öffnen bitte anklicken)
Die Medien die bei einem CVD Prozess zum Einsatz kommen liegen häufig als Gas vor ...
Gasmischsysteme gibt es in vielen unterschiedlichen Ausführungen. Das kann ein Gasmischer für 2 Gase sein um ein Schutzgas oder Formiergas, synthetisc...
Gasmischer für verschiedene Gase. Einspeisung mit Kontaktmanometern zur Anzeige bei Gasmangel.
Gasmischsysteme gibt es in vielen unterschiedlichen Au...
System zur Simulation von Schadstoffen in der Luft. Wird zum Testen von Atemluftfiltern eingesetzt.
Gasmischsysteme gibt es in vielen unterschiedlich...
Herstellung von Versorgungssystemen
Versorgungssysteme dienen der sicheren Versorgung von Verbrauchern wie Flüssigdosiersystemen oder Verdampfersyste...
Die in einem Kraftfahrzeug (KFZ) mit Benzinverbrennungsmotor eingesetzten AKF Aktivkohlefilter werden entsprechend den USA Regelwerken CARB und EPA un...
In einem Brennersystem werden 2 Gase dosiert, zum einen das Brenngas selber, hier in der Regel Wasserstoff, Propan oder Methan und als Nährgas Sauerst...
Herstellung von Gasdorsiersystemen für Reinstgase
Gasdosiersysteme für Reinstgase werden immer dann eingesetzt, wenn besonders hohe Anforderungen an ...
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